Les varetes de carbur de silici tenen una bona estabilitat química i una forta resistència als àcids
L'ús a llarg termini de components de vareta de carbur de silici per sobre dels 1000 °C pot tenir els següents efectes amb oxigen i vapor d'aigua: (1)Sic+2O2→Sio2+CO2 (2)Sic+4H2O=Sio2+4H2+CO2 El contingut de Sic2 en el component augmenta gradualment, i la resistència augmenta lentament. Perquè envelleixi. Si el vapor d'aigua és massa, promourà l'oxidació de SiC. L'H2 produït per la reacció de la fórmula (2) es combina amb O2 en l'aire i després reacciona amb H2O per crear un cercle viciós. Redueix la vida dels components. La vareta de carbur de silici d'extrem gruixut d'hidrogen (H2) pot reduir la resistència mecànica del component. El nitrogen (N2) per sota dels 1200 °C pot evitar que SiC s'oxidi i reaccioni amb SiC per sobre dels 1350 °C, de manera que siC pot ser descompost per clor (Cl2) i Sic es pot descompondre completament.